半导体晶圆EFEM6(ID:1862103)
# | 文件名称 | 文件大小 |
---|---|---|
1 | 17390182325996.rar | 152.15M |
2 | EFEM6.pdf | 339.28K |
3 | 主视图.jpg | 37.74K |
4 | 侧视图.jpg | 17.22K |
5 | 俯视图.jpg | 29.03K |
6 | 半导体晶圆EFEM6-xt格式.x_t | 186.46M |
7 | 半导体晶圆EFEM6.SLDPRT | 105.75M |
8 | 效果图.png | 309.39K |
9 | 轴视图.jpg | 52.54K |
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发布者
安静的灰狼
创作: 33
粉丝: 1
加入时间:2024-02-01

模型信息
图纸格式:pdf,x_t,sldprt
文件大小:155.8M
所需金币:1500
上传时间:2025-02-08 20:38:05
是否可编辑:可修改,不包括参数
版本:SOLIDWORKS 2021
标签
半导体
晶圆
EFEM
设备
loadport
图纸简介
晶圆移载系统(EFEM)是自动化系统,透过垂直整合,搭配自行研发之控制系统,能弹性选配Wafer ID读取、晶舟盒RFID感应、晶圆寻边校正、凸片检知、站点在席感测等周边配件进行规划,并依产品规格搭配对应款式之晶圆机器人,有效针对不同制程及应用的客户,提供客制化的服务,使客户的设备和制程更有效率及竞争力
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