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高性能全自动曝光机（ID:2501123）
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| # | 文件名称 | 文件大小 |
|---|---|---|
| 1 | 17546244516554.zip | 37.86M |
| 2 | 高性能全自动曝光机.STEP | 198.51M |
此图纸下载需要85金币
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发布者
安详的橘子
创作: 485
粉丝: 18
加入时间：2024-05-23
模型信息
图纸格式：step
文件大小：38.77M
所需金币：85
上传时间：2025-08-08 11:41:11
是否可编辑：可修改，不包括参数
版本：STEP
标签
图纸简介
本模型为一款高性能全自动曝光机，整机外形尺寸为 2500mm × 3200mm × 2558mm (长×宽×高)。该设备集成了先进的自动化功能，包括自动上下料系统、高精度自动视觉对位系统以及自动曝光单元，实现了制程的高度自动化与集成化。
其核心定位技术采用高性能的 UVW 对位平台，配合精密的直线模组驱动系统。UVW 平台结构确保工作台能够在平面内实现 X/Y/θ 三自由度的精密调整，结合直线模组的高刚性及平稳运动特性，使设备整体对位精度达到行业领先的 ±3μm 级别，满足高精度光刻制程的严苛要求。
版权说明
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